據中國臺灣中時新聞網3月23日報道，臺積電、聯電、南茂等半導體廠人員皆平安，僅一些敏感機臺當機。其中在南部科學園區部分，群創有2廠部分機臺當機，但最后確認并無影響。據當地媒體報道，臺積電表示，大部分廠區都沒有達到疏散標準，只有零星疏散，地震后，很快回到生產線；聯電表示，員工及廠房均安、部分機臺啟動保護停機功能需要重新開機，整體第一季業績不受影響。23日凌晨，臺灣臺東縣海域發生6.6級地震，此后大小余震不斷。