中信證券研報指出，展望2022年，在行業景氣持續、國產替代深入背景下，半導體設備公司持續有基本面業績支撐。建議優先選擇賽道空間大、產品布局全面、技術實力較強的龍頭設備廠商，以及份額尚低、受益國產替代有望快速成長的細分賽道成長型企業。晶圓廠工藝設備推薦北方華創、中微公司，建議關注盛美上海、屹唐股份、華海清科、拓荊科技、芯源微、至純科技、精測電子等。測試設備/封裝設備方面推薦華峰測控，建議關注長川科技、光力科技等。