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華特氣體:公司光刻氣產品獲得日本GIGAPHOTON株式會社合格供應商認證函

  華特氣體:公司四款光刻氣產品(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)均通過了日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應商認證,公司目前是國內唯一一家同時通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會社認證的氣體公司。

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