ASML首臺全新極紫外光刻機已交貨 ©原創 2021-07-21 16:40 0 阿斯麥ASML方面表示，EUV(極紫外光)光刻業務:第一臺NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產品，NXE:3600D的生產力提高15%到20%，且套刻精度也提高30%。ASML正增加EUV在存儲產業的量產應用，并將計劃協助三個DRAM客戶實現在未來的制程節點中導入EUV。
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