供應鏈傳出，臺積電供應商之一的半導體材料大廠美商英特格(Entergris)除計劃在臺設廠外，也將開始供應EUV光罩盒給臺積電南科廠與美國亞利桑那州廠。英特格去年底就宣布未來三至五年，將在臺灣投資2億美元(折合新臺幣近60億)在高雄設廠，并于今年2月獲得科技部審查通過設廠案。(中國臺灣經濟日報)