7月13日,上海精測(cè)半導(dǎo)體官宣,國(guó)內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量設(shè)備(OCD)與國(guó)內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)順利出機(jī)。同日,上海精測(cè)半導(dǎo)體母公司精測(cè)電子在其披露的投資者調(diào)研紀(jì)要中確認(rèn),上述兩款產(chǎn)品交付的客戶為國(guó)內(nèi)一流先進(jìn)制程晶圓廠中芯國(guó)際。(中國(guó)證券報(bào))
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